溶射によるセラミックスコーティングに留まらず、セラミックスの焼成にも挑みます。

セラミックス焼結体は、セラミックス溶射では得られない耐久性の向上や形状形成が可能です。

弊社では両方の長所を生かしながら静電チャック、ヒーター、バキュームチャックなど、半導体製造装置の基幹部品の開発に取り組んでいます。