弊社では真空ロウ付け技術を駆使し、セミックス溶射静電チャック、セラミックス焼結体静電チャック用の冷却ジャケットの生産もおこなっています。

対応可能材質はアルミ合金、銅合金、チタン合金、ステンレスなどで、銀ロウ、銅ロウ、ニッケルろう、チタンロウなどを駆使してお客様のニーズに最適な接合をおこないます。