半導体・FPD製造装置／
静電チャック・真空チャック
静電チャック製造は
静電チャック・真空チャック
静電チャック製造は
多くの技術の集大成。
日本技商ではすべての技術を
トータルコーディネートして
最適なプロセスで製造いたします。
静電チャックとは
半導体製造装置などの精密な加工に使用される部品です。
静電気の力を利用して、吸引されることで、物体を確実に固定することができます。
静電チャックの種類
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ポリイミド貼付けタイプ
アルミ基材（ジャケット構造）にポリイミドシートを貼付けるタイプ。
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溶射タイプ
アルミ基材（ジャケット構造）に溶射皮膜で吸着機能を付与するタイプ。
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セラミック貼付けタイプ
アルミ基材（ジャケット構造）にセラミックシートを貼付けるタイプ。
